Page 39 - Kỷ yếu hội thảo khoa học quốc tế - Ứng dụng công nghệ mới trong công trình xanh , lần thứ 8

22 TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT - ĐẠI HỌC ĐÀ NẴNG

NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO ĐIỆN CỰC

MICRO CHO TẠO MẪU ITO SỬ DỤNG

MÁY GIA CÔNG TIA LỬA ĐIỆN

A Study On The Fabrication Of Micro-

Electrode For ITO Patterning Using Electrical

Discharge Machining

Trịnh Xuân Long Nguyễn Văn Minh
Khoa Cơ khí Giao thông Khoa Cơ khí Giao thông
Trường Đại học Bách khoa - Đại học Đà Nẵng Trường Đại học Bách khoa - Đại học Đà Nẵng
Đà Nẵng, Việt Nam Đà Nẵng, Việt Nam
txlong@dut.udn.vn nvminh@dut.udn.vn
Nguyễn Văn Triều Nguyễn Công Hành
Khoa Cơ khí Giao thông Khoa Cơ khí Giao thông
Trường Đại học Bách khoa - Đại học Đà Nẵng Trường Đại học Bách khoa - Đại học Đà Nẵng
Đà Nẵng, Việt Nam Đà Nẵng, Việt Nam
nvtrieu@dut.udn.vn nchanh@dut.udn.vn
Tóm tắt: Màng dẫn điện trong suốt đã được sử dụng Abstract: Transparent conducting films have been
rộng rãi trong các thiết bị hiển thị như màn hình phẳng, màn widely used in display devices such as flat panel displays,
hình cảm ứng, điốt phát quang hữu cơ (OLED) và màn hình touchscreens, organic light-emitting diodes (OLEDs), and
tinh thể lỏng. Tuy nhiên, các kỹ thuật phổ biến để tạo khuôn liquid-crystal displays. However, common techniques of
cho các màng dẫn trong suốt, ví dụ như quang khắc và tạo patterning transparent conducting films, such as
khuôn bằng laser, là những phương pháp rất phức tạp và đòi photolithography and laser patterning, are complex and
hỏi đầu tư lớn. Do đó, nghiên cứu về quy trình tạo mẫu require large investment. Therefore, research regarding fast
nhanh và rẻ tiền cho diện tích lớn vẫn đang tiếp tục. Trong and inexpensive patterning procedures for large area is still
nghiên cứu này, các thanh vonfram (W) thương mại được ongoing. In this study, commercial tungsten (W) rods were
sử dụng để chế tạo các vi điện cực bằng phương pháp ăn used to fabricate microelectrodes by dynamic electrochemical
mòn điện hóa động và sau đó được sử dụng để tạo các mẫu etching and were subsequently used to create ITO line
đường ITO bằng μ-EDM. Một loạt thử nghiệm đã được patterns by μ-EDM. A series of experiment was carried out
thực hiện để tìm ra mối quan hệ giữa đường kính điện cực to find out the relationship between the micro electrode
micro với thời gian ăn mòn điện hóa. Bằng cách sử dụng diameter and the electrochemical corrosion time. By using
các quan hệ toán học này, đường kính điện cực micro có thể these mathematical relationships, the micro electrode
được dự đoán với sai số nhỏ hơn 6%. Hơn nữa, kỹ thuật diameter can be predicted with an error of less than 6%.
được đề xuất đã chứng minh rằng nó có thể hoạt động tốt Furthermore, the proposed technique has proven that it can
khi gia công các mẫu ITO với chiều dài lớn. work well when machining ITO patterning for long working
distance.
Từ khóa: micro-EDM; khắc điện hóa; điện cực micro; Keywords: Micro-EDM; Electrochemical Etching;
tạo mẫu ITO. Microelectrode; ITO patterning.
Thông thường, để chế tạo các mẫu đường trên phim
I. GIỚI THIỆU
ITO, những phương pháp như kỹ thuật in thạch bản,
Do tính dẫn điện cao và độ trong suốt quang học phún xạ, và cắt laser được sử dụng. Trong số đó, kỹ
tuyệt vời, màng dẫn điện trong suốt (TCF) đã được sử thuật laser kết hợp với ủ hoặc khắc [2–5] được sử
dụng trong nhiều thiết bị hiển thị khác nhau như màn dụng rộng rãi nhờ tốc độ và hiệu quả cao. Mặc dù kỹ
hình phẳng, màn hình cảm ứng, điốt phát sáng hữu cơ thuật tạo khuôn dựa trên laser có thể tạo ra các mẫu
(OLED) và màn hình tinh thể lỏng. Trong số các vật phức tạp đa dạng với độ chính xác cao, nhưng đối với
liệu được sử dụng cho lớp phủ màng mỏng, ITO là vật các ứng dụng có diện tích lớn mà chi phí là một vấn
liệu phổ biến nhất với điện trở suất thấp (7,5 × đề, thì cần có các giải pháp thay thế khác [6].
10 Ω.cm), độ truyền quang học (lớn hơn 80% ở bước Hohnholz [7] đã chứng minh rằng ITO trên nền thủy
-4
sóng 550nm) và hiệu suất quang học cao (4,2eV) [1]. tinh có thể được loại bỏ dễ dàng bằng cách trượt một
ISBN: 978-604-80-9122-4