Page 42 - Kỷ yếu hội thảo khoa học quốc tế - Ứng dụng công nghệ mới trong công trình xanh , lần thứ 8

th
HỘI THẢO KHOA HỌC QUỐC TẾ ATiGB LẦN THỨ TÁM - The 8 ATiGB 2023 25

tiếp xúc với dung dịch NaOH; kết quả là chúng làm vậy độ mòn của dụng cụ dọc theo trục z là 5,1μm.
chậm tốc độ ăn mòn. Bộ tạo xung DC tạo ra các Ngoài ra, như thể hiện trong Hình 5c, sau khi gia công,
khoảng thời gian tạm dừng trong quá trình ăn mòn, không quan sát thấy sự mài mòn bên nào và đường
trong thời gian ngắt xung, cực dương không tan và các kính của vi điện cực vẫn giữ nguyên giá trị, 108,2μm.
bọt khí đó có đủ thời gian để rời khỏi bề mặt cực
dương nhờ hiệu ứng khuếch tán. Do đó, số lượng bọt
khí giảm đáng kể và do đó, tốc độ ăn mòn tăng lên.
Ngoài ra, kết quả cho thấy rằng việc tăng thời gian
ăn mòn dẫn đến tăng độ lệch chuẩn (δ) và do đó, tăng
sự thay đổi của đường kính thanh. Dựa trên những dữ
liệu này, mối quan hệ giữa thời gian ăn mòn và đường
kính dao được thiết lập bằng cách sử dụng Excel Hình 4. Hình ảnh một điện cực micro
(Hình 3) và có thể được biểu thị bằng công thức toán với đường kính 58,1µm
học sau:
IV. KẾT LUẬN
D = t D − 4,08 (t +  2 2, 27 t + 1,02) (4) Trong nghiên cứu này, điện cực micro đã đã được
0
Trong đó D0 là đường kính danh nghĩa của thanh đề xuất như một kỹ thuật chi phí thấp để tạo khuôn
vonfram trước khi gia công (trong thí nghiệm của màng mỏng ITO. Một loạt các thử nghiệm đã được
chúng tôi, D0 = 300μm) và Dt là đường kính của thanh thực hiện để tối ưu hóa phương pháp đề xuất và để
vonfram sau t phút. khẳng định rằng mối quan hệ thực nghiệm (4) có thể
được áp dụng để tạo ra các mẫu điện cực micro với độ
Phương trình (4) chỉ ra rằng đường kính thanh là chính xác cao. Hơn nữa, phương pháp tạo điện cực
một hàm bậc hai của thời gian ăn mòn của nó. này giảm thiểu việc mài điện cực, điều này khá quan
Để xác minh độ tin cậy của phương trình (4), 16 trọng trong việc tạo mẫu có diện tích lớn.
thí nghiệm đã được thực hiện để đo đường kính của
thanh vonfram sau 3,5, 4,5, 5,25 và 6,3 phút ở cùng
điều kiện thí nghiệm và kết quả thu được được so sánh
với các giá trị được dự đoán bởi Eq. (4) (Bảng III). Sai
số giữa đường kính thanh dự đoán và thử nghiệm là
dưới 6%, cho thấy có thể đạt được sự kiểm soát độ
chính xác cao đối với đường kính thanh bằng cách sử
dụng Eq. (4). Mặt khác, Bảng III cũng cho thấy sai số
tăng khi thời gian ăn mòn điện hóa tăng. Cuối cùng,
bằng cách quan sát nhiều thí nghiệm, đáy của thanh
vonfram luôn rơi xuống sau 7,3 phút ăn mòn. Trong
khi theo phương trình (4), khi đường kính của thanh
bằng 0, thời gian ăn mòn có thể vào khoảng 7,45 phút,
rất gần với giá trị thực nghiệm. Một ví dụ về vi điện
cực hình trụ được sản xuất có đường kính 58,1μm Hình 5. a) Đường chạy dao để kiểm tra mòn điện cực
được thể hiện trong Hình 4. micro; b) mẫu đường cắt ITO; c) điện cực micro
trước và sau gia công
B. Độ mòn điện cực micro
Để nghiên cứu tính ổn định của kỹ thuật tạo mẫu V. LỜI CẢM ƠN
này khi khoảng cách làm việc dài, một đường 50cm đã Nghiên cứu này được tài trợ bởi Trường Đại học
được gia công và sau đó được phân tích chất lượng Bách khoa - Đại học Đà Nẵng với đề tài có mã số:
của nó. Hình 5a cho thấy đường dẫn công cụ của T2023-02-08.
nghiên cứu này. Đường kính của vi điện cực là
108,2μm. Các điều kiện gia công được đặt ở tốc độ TÀI LIỆU THAM KHẢO
trục chính là 800 vòng/phút, tốc độ cắt là 10 mm/phút
và điện áp khe hở là 35V. Như Hình 5b cho thấy, [1] Farhan MS, Zalnezhad E, Bushroa AR, Sarhan
AAD (2013), Electrical and optical properties of
chiều rộng của mẫu vẫn ổn định khi khoảng cách làm indium-tin oxide (ITO) films by ion-assisted
việc tăng lên. Ngoài ra, để xác định độ mòn của dụng deposition (IAD) at room temperature. Int Jref
cụ dọc theo trục z, trước và sau khi gia công, tọa độ z Precis Eng Manuf 14:1465–1469. doi:
của vi điện cực khi tiếp xúc với mẫu ITO đã được ghi 10.1007/s12541-013-0197-5.
lại. Trước và sau khi tạo mẫu, tọa độ z được ghi lại của [2] Tan NN, Hung DT, Anh VT, et al (2015). Improved
vị trí tiếp xúc lần lượt là −4,5438 và −4,5387mm. Vì patterning of ITO coated with gold masking layer

ISBN: 978-604-80-9122-4